Relatório Carga Fapesp / 2005Emissão: 10/11/2008 21:04:52

DEMA - DEPARTAMENTO DE ENGENHARIA DE MATERIAIS

Projeto Alterado
Nome Projeto
PROCESSO DE AUTOMACAO E CONTROLE DOS PARAMENTROS DE DEPOSICAO VAD PARA OBTENCAO DE SILICA DE ULTRA-ALTA HOMOGENEIDADE PARA COMPONENTES FOTONICOS.
Tipo Projeto: Pesquisa Básica
Situação Projeto: Em Andamento
Data Início Projeto: 10/2005
Ano Fim Projeto: 2008
Tipo Envolvimento Contrato: Individual
Descrição Projeto: Desenvolvimento de lentes de alta resolução para microlitografia ótica na região ultra violeta.
Linha Pesquisa:
Materiais de Grau Eletronico
Instituições
Nome:
Fundação de Amparo à Pesquisa do Estado de São Paulo - Fapesp
Tipo do Financiamento: Bolsa Doutorado DR
Nº Processo na Financiadora: 2005/54797-0
Data Início Financiamento: 10/2005
Data Fim Financiamento: 03/2009
Valor do Financiamento: R$ 110.724,38
Complemento do Tipo Financiamento: BOLSA NO PAIS-DR-II
Órgãos
(FEM) DEMA - DEPARTAMENTO DE ENGENHARIA DE MATERIAIS [03.06.00.00.00.00.00]
Equipes Projeto
Juliana Santiago dos Santos( Participante )
CARLOS KENICHI SUZUKI( Responsável )



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