Nome Projeto: | STUDY OF CONDITIONS FOR ANISOTROPIC PLASMA ETCHING OF TUNGSTEN NITRIDE USING SF6/AR GAS MIXTURES.!-- --> |
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Tipo Projeto: | Pesquisa Básica!-- --> |
| Situação Projeto: | Em Andamento!-- --> |
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Data Início Projeto: | 08/2002!-- --> |
| Ano Fim Projeto: | 2003!-- --> |
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Tipo Envolvimento Contrato: | Individual!-- --> |
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Descrição Projeto: | STUDY OF CONDITIONS FOR ANISOTROPIC PLASMA ETCHING OF TUNGSTEN NITRIDE USING SF6/AR GAS MIXTURES.!-- --> |
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Instituições | Nome: | Fundação de Amparo à Pesquisa do Estado de São Paulo - Fapesp!-- --> |
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Tipo do Financiamento: | Auxilio publicação!-- --> |
| Nº Processo na Financiadora: | 2002/06658-3!-- --> |
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Data Início Financiamento: | 08/2002!-- --> |
| Data Fim Financiamento: | 01/2003!-- --> |
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Valor do Financiamento: | R$ 1.128,82!-- --> |
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Órgãos | 29.09.00.00.00.00.00 - DEPARTAMENTO DE SEMICONDUTORES INSTRUMENTOS E FOTONICA!-- --> |
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Equipes Projeto | JACOBUS WILLIBRORDUS SWART( Responsável )!-- --> |
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