Faculdade de Engenharia Elétrica e de Computação   Departamento de Semicondutores, Instrumentos e Fotônica   Produções / Artigos publicados em periódicos Artigos publicados em periódicos especializados arbitrados de circulação (nacional)   1.   PEREIRA, M.A.; DINIZ, J. A.; DOI, I.; SWART, Jacobus Willibrordus; "Silicon Nitride Deposited by ECR-CVD at Room-Temperature for LOCOS Isolation Technology", 02/2003, Activity Report 2002/ Brazilian Synchrotron Light Laboratory, Vol. 1, pp.273-280, Campinas, SP, Brasil, 2003 *   * Esta produção está associada também a outros órgãos