Centro de Componentes Semicondutores   Projetos com financiamento   1.   Roberto Ribeiro Neli (Responsável). "DESENVOLVIMENTO DE MICRO-ESTRUTURAS MECANICAS SOBRE O SILICIO ATRAVES DE CORROSAO DO SUBSTRATO PELA SUPERFICIE". Processo #1999/11348-9, Fundação de Amparo a Pesquisa do Estado de São Paulo, (03/2000-02/2002), valor: R$ 31.200,00.   2.   IOSHIAKI DOI (Responsável). "ESTUDO DA CAMADA DE SI-POLI PARA PORTA DE ESTRUTURAS MOS E MICROESTRUTURAS". Processo #1999/07617-4, Fundação de Amparo a Pesquisa do Estado de São Paulo, (01/2000-04/2002), valor: R$ 160.531,92.   3.   Marcelo Assaoka Hayashi (Responsável). "ESTUDO DOS PROCESSOS E DE APLICACOES DA IMPLANTACAO IONICA EM MATERIAIS". Processo #1999/10402-0, Fundação de Amparo a Pesquisa do Estado de São Paulo, (12/1999-02/2002), valor: R$ 66.320,00.   4.   JACOBUS WILLIBRORDUS SWART (Responsável). "FABRICACAO DE MICRO E NANO-ESTRUTURAS: ESCRITA DIRETA POR FEIXE DE ELETRONS E CORROSAO POR PLASMA". Processo #1998/07001-0, Fundação de Amparo a Pesquisa do Estado de São Paulo, (03/1999-02/2003), valor: R$ 22.308,00.   5.   Anna Paula da Silva Sotero (Responsável). "FILMES FINOS E ULTRA-FINOS DE OXIDO, DE OXINITRETO DE SILICIO E DE NITRETO DE SILICIO OBTIDOS POR DEPOSICAO E OXIDACAO/NITRETACAO EM SISTEMA DE PLASMA REMOTO E SUAS APLICACOES COMO ISOLANTES E CAMADAS..". Processo #2000/00319-7, Fundação de Amparo a Pesquisa do Estado de São Paulo, (07/2000-05/2001), valor: R$ 31.170,00.   6.   JACOBUS WILLIBRORDUS SWART (Responsável). "MANUTENCAO DE SISTEMA DE IMPLANTACAO IONICA PARA PESQUISA EM MICROELETRONICA E MATERIAIS". Processo #2000/08826-5, Fundação de Amparo a Pesquisa do Estado de São Paulo, (08/2001-07/2003), valor: R$ 821.168,10.   7.   JACOBUS WILLIBRORDUS SWART (Responsável). "PROGRAMA ESPECIAL PARA FABRICACAO DE CIRCUITOS INTEGRADOS NO EXTERIOR - FASE 03". Processo #1998/15426-1, Fundação de Amparo a Pesquisa do Estado de São Paulo, (03/1999-02/2001), valor: R$ 446.494,34.   8.   JACOBUS WILLIBRORDUS SWART (Responsável). "PROGRAMA ESPECIAL PARA FABRICACAO DE CIRCUITOS INTEGRADOS NO EXTERIOR FASE 4". Processo #2001/04989-0, Fundação de Amparo a Pesquisa do Estado de São Paulo, (09/2001-08/2003), valor: R$ 733.485,30.   9.   Pedro Ricardo Barbaroto (Responsável). "PROJETO, MICROFABRICACAO E CARACTERIZACAO DE DEFLETOR DE LUZ DE SILICIO ACIONADO POR INDUCAO". Processo #1999/11115-4, Fundação de Amparo a Pesquisa do Estado de São Paulo, (03/2000-02/2002), valor: R$ 31.092,45.